Ultra Fast Epoxy Removal

Im Rahmen dieses MNT-ERA.NET geförderten Verbundprojektes ist es erstmals gelungen, eine produktionstaugliche Anlage inklusive zugehörigem Prozess für das plasma­gestützte Entfernen von SU-8 mit hoher Resist-Ätzrate bereitzustellen, die auf die Entfernung von SU-8 aus galvanisch abgeschiedenen Metallstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen ausgelegt ist, wobei weder Rückstände zurückbleiben noch die metallischen Mikrostrukturen beeinträchtigt werden. Mit dem Projekt gelang es, ein wirtschaftlich hocheffizientes und reproduzierbares Verfahren für die Entfernung von Epoxid­resisten zu entwickeln, das am Markt zuvor noch nicht verfügbar war. Auf diese Weise wurde die Verwend­barkeit von SU-8 in LIGA-Anwendungen für kommerzielle Massenprodukte beträchtlich erweitert. Relevant ist dies insbesondere in der Produktion mikromechanischer Komponenten, wie sie gerade vom Industrie­partner Mimotec hergestellt werden. Ein wesentliches Marktsegment, das von dieser Innovation profitiert, ist die Volumenfertigung mikrotechnischer Teile für die Uhrenindustrie. Das Verfahren garantiert Rückstandsfreiheit und hohe Selektivität. Es eignet sich insbesondere für die Entfernung von SU-8 aus Strukturen mit hohem Aspektverhältnis bei Schichtdicken bis über 1 mm. Zudem ist eine zuverlässige Endpunktskontrolle realisiert worden.

Projektpartner

• Mimotec SA
• MUEGGE-R3T
• micro resisist technology GmbH
• Bessy