Optische Mikrosysteme (MOEMS)

Sie stehen vor dem Problem optische Funktionalität in ein System integrieren zu müssen und suchen nach einem kompetenten Partner? Wir stehen Ihnen mit unserem Wissen und unserem Gerätepark gerne zur Seite.

Das Spektrum an bereits realisierten MOEMS Strukturen ist vielfältig. Neben faserbasierten Systemen, wie zum Beispiel einem faseroptischen Messkopf, wurden in den letzten Jahren vorallen Filterbauteile, sogenannte Etalons, realisiert. Zum Wellenlängentuning können entweder Solidetalons (ohne Aktor) oder tunable Etalons (mit integriertem Aktor) eingesetzt werden. Beide Konzepte werden im Rahmen von Entwicklungsprojekten seit einigen Jahren bei uns entwickelt. Auch der Einsatz von Siliziummikromechanik in Moemsstrukturen ist von grosser Bedeutung, z.B für die Realisierung von Mikrobench Systemen für die optische Feinpositionierung.

Zur Prüfung und Charakterisierung von MOEMS-Strukturen sind vielseitige Test- und Analyseverfahren notwendig. Neben elektrischen und mechanischen Funktionstest kümmern wir uns vorallem um die optische Funktionsprüfung. Zur Charakterisierung von Masshaltigkeit, Oberflächenqualität oder auch Verbiegungen kommen mehrheitlich optische Profilometer, Konfokalprofilometer oder ein Weisslicht-Mikroskop zum Einsatz. Auch Dünnschichtanalytik spielt eine grosse Rolle. Bei faser- oder wellenleiterbasierten Systemen kommen zusätzlich noch Lossmessungen sowie Messungen des Strahlprofils oder der Strahldivergenz hinzu. In all diesen Fragestellungen bietet sich das MNT als kompetenter Partner an.