Mikrosysteme und Sensoren

Piezoresistive Sensoren werden zur Messung von Kräften, Auslenkungen, Drücken und mechanischen Spannungen verwendet. In diesem Fall wurde ein piezoresistiver Sensor zur Messung von Kräften und Auslenkungen in einen Biegebalken integriert.

Mikrotechnisch hergestellte thermische Aktoren aus Silizium eignen sich hervorragend für Bewegungen in der Ebene. Je nach Geometrie und maximaler Temperatur sind Auslenkungen von bis zu 40 µm möglich, dabei können Kräfte von einigen mN erreicht werden.

Thermoelektrische Generatoren (TEG) wandeln Wärme in elektrische Energie um. Sie werden beispielsweise als Energiequellen für Sensoren an schwer zugänglichen Orten eingesetzt und bestehen aus vielen Thermoelementen, welche  in Serie geschaltet sind.

Fluidische Mikromischer werden zum Mischen von flüssigen Substanzen z.B. in der Pharmaindustrie eingesetzt. Im Vergleich zu konventionellen Methoden benötigt der Mikromischer bis zu 90% weniger Totvolumen.

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Ob Sie ein existierendes System miniaturisieren wollen oder alternative Lösungen finden wollen, wir unterstützen Sie von der Idee über den Bau eines Prototypen bis zur Fertigung von Kleinserien. Mikrosystemtechnische Fertigungsverfahren erlauben es Geometrien im Mikrometerbereich sowie Toleranzen im Bereich von einigen 100 nm zu realisieren. Diese vergleichbar hohe Präzision im Vergleich zu konventionellen feinmechanischen Fertigungsverfahren kann von vielseitigem Nutzen sein. Neben der Auslegung und Fertigung der Mikrosysteme spielt auch deren elektrische Anbindung und Systemintegration eine wichtige Rolle und wird von Anfang an mitgedacht. Um industriekompatible, produktorientierte Lösungen zu finden leben wir einen interdisziplinären Ansatz.