Equipment Analytik
Analytik im Reinraum
- Lichtmikroskop Nikon ME600
- CMT-SR2000N-R 4-Punkt Schichtwiderstandsmapping
- TLM-Messaufbau zur Kontaktwiderstands-Bestimmung
- M-Line-Spektroskopie Metricon
- Filmetrics F20-UV - Thin-Film Measurement System
- Nadelprober Cascade
- Nadelprober Süss
- Partikelmessmikroskop Leica
- Taktiles Profilometer KLA-Tencor P-17
Vakuum-Analytik
- Diverse Vakuum-Prüfstände für Tests und Analysen unter Vakuumbedingungen (z.B. Ausgasungs-Tests)
- Diverse Vakuum-Druckmesszellen
- Prisma QMS 200 Massenspektrometer
Oberflächen- und Materialcharakterisierung
Folgende Geräte für die Oberflächen- und Materialcharakterisierung verwenden wir gemeinsam mit dem Materials Team.
- Rasterelektronenmikroskop (REM) LEO 1455 VP (inkl. EDX)
- Atom-Kraftmikroskop (AFM) DI Dimension 3100
- Weisslichtinterferometer/Konfokalprofilometer PLµ2300
- Röntgendiffraktometer PANalytical X'Pert PRO MRD-XL
- Fluoreszenzmikroskop
- Schertester und Mikro-Chevron Tests
Spezifische Teststände
Um unsere Bauteile umfassend zu charakterisieren bauen wir projektspezifische Teststände. Es stehen aber auch fixe Teststände zur Verfügung.
- Schertester und Micro-Chevron Tests
- Equipment für die Charakterisierung von Fluidikbauteilen
- Druckgeber Fluigent (4x 1000 mbar und 1x 345 mbar)
- Spritzenpumpen (2x)
- Diverse Flusssensoren (3.7 nl/min bis 1 ml/min)
- Diverse Kleinteile (Ventile, Bubble Traps, Adapter und Verbindungsstücke)
Kontakt
Dietmar BertschIMP Institut für Mikrotechnik und PhotonikSenior Research Engineer, Fachverantwortlicher Packaging
+41 58 257 34 71dietmar.bertsch@ost.ch