Die Bestimmung der elektrischen Eigenschaften von dünnen Schichten ist für deren Anwendung als leitende oder dielektrische Materialien in mikroelektrischen Devices besonders wichtig, da ungenügende Eigenschaftsparameter eine Fehlfunktion der Teile zur Folge haben können. Die Messverfahren reichen von der 2-Punkt-Messung an Widerstandsstrukturen bis zur Bestimmung des spezifischen Widerstandes dünner Schichten an bekannten Strukturen mit der Kelvin (4-Punkt)-Methode oder der Van der Pauw-Methode für Gebilde mit nur teilweise bekannter Geometrie. Die Bestimmung der Durchschlagsfestigkeit von elektrisch isolierenden Schichten ist von besonderem Interesse für Mikrosysteme, z.B. Aktoren.