Dieses Verfahren bietet einen sehr schnellen und zerstörungsfreien Nachweis chemischer Elemente zwischen Z = 17 (Chlor) und Z = 92 (Uran) bei massiven Proben oder Galvanikbädern.

Die Probenstelle wird mit Hilfe einer Videokamera positioniert. Der Messfleck-Durchmesser ist zwischen 0,2 und 2 mm einstellbar. Von der Probengrösse her ideal ist eine 5-Franken-Münze; dicker als 4 cm und grösser als etwa 20 cm im Durchmesser sollte die Probe bei unserer Anlage nicht sein.

Als Reaktion auf die Röntgenbestrahlung senden die Elemente der Probe charakteristische Röntgenstrahlung aus. Diese Fluoreszenz-Strahlung wird von einem energiedispersiven Röntgendetektor (EDX) analysiert und mit einer Datenbank abgeglichen. Die Genauigkeit der Ergebnisse liegt typisch im Prozentbereich, die Empfindlichkeit ist etwas besser.

Die Röntgenfluoreszenz-Strahlung leichter Elemente (Kohlenstoff, Aluminium etc.) erreicht den Detektor dieses Geräts leider nicht, da sie bereits von den Luftmolekülen absorbiert wird. Aussagen zu den leichten Elementen ermöglicht eine EDX-Analyse, bei der sich die Probe in der evakuierten Kammer z.B. eines Elektronenmikroskops befindet.