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Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern

Studiengang
Systemtechnik
Art der Arbeit
Bachelorarbeit
Verfasser/in
Raphael Mayenknecht
Michiel Sameli
Referent/in
Prof. Dr. Martin Gutsche
Experte
Prof. Dr. Samuel Huber Lindenberger
Partner
Inficon, ,
Institut
Institut für Mikrotechnik und Photonik
Jahr
2023
Raphael Mayenknecht
Michiel Sameli
    Arbeit als PDF
    Abschnitt einer Mikrostruktur. Interdigitalelektrode mit einer Fingerbreite von 15 µm.
    Kapazitätsmessung der Mikrostruktur mit einem Nadelprober bei 1.25 V und 100 kHz.
    Sensitivität unterschiedlicher Sensoren mit variierender Elektrodenbreite W und Luftspaltbreite G.
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