Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen

Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Trockenätzprozesses zur Strukturierung metallischer Schichten. Es werden die vier Metalle Titan, Wolfram-Titan, Platin und Molybdän untersucht. Das Trockenätzen erfolgt auf der Anlage Plasmatherm SLR 770 ECR, welche mit einem Mikrowellengenerator ein Plasma erzeugt und zum reaktiven Ionenätzen verwendet wird. Der Startpunkt, von dem aus die Versuchsreihen aufgestellt werden, basiert auf der Grundlage von Veröffentlichungen. Für die Prozessentwicklung werden die Parameter Druck, Temperatur und Gasverhältnis variiert, wobei der Gesamtgasfluss beibehalten wird. Die Charakterisierung erfolgt anhand der Ätzrate des Metalls, der Selektivität zu Siliziumdioxid und Lackmaske, der elektrischen Messung geätzter Widerstände, einer Kontaktwinkelmessung auf geätzter und maskierter Struktur und einer Untersuchung der Strukturtreue. Dabei werden die Strukturgrössen der gezeichneten und gefertigten Chrommaske sowie die Lackmaske und die geätzten Strukturen ausgemessen.