Entwicklung eines Hochtemperatur-Durchflussmessers für Temperiergeräte

In dieser Arbeit wird die Entwicklung eines Durchflussmessers basierend auf dem Anemometer-Prinzip beschrieben. Der Sensor soll in Temperiergeräten zum Einsatz kommen. Ein Umgebungsdruck bis zu 30 bar und Mediumstemperaturen von bis zu 200 °C sind wichtige Anforderungen. Der Messbereich liegt voraussichtlich bei 1-60 Liter/min. Die Anordnung der Messelemente soll den Einfluss von grossen Temperaturgradienten im Medium stark verringern. Durch diese Konstruktion soll das System robust gegen Störgrössen sein. Im Laufe der Arbeit wurde die Anordnung simuliert und die Machbarkeit theoretisch nachgewiesen. Die Messwiderstände sind mikrotechnisch auf einem Trägersubstrat hergestellt. Die Leiterbahn-Strukturen sind mittels einer Molybdän-Schicht realisiert und mit einer SiO2-Schicht überzogen, vor Beschädigungen geschützt. Der Sensor auf dem Glas ist in einer Metallaufnahme montiert und mit der thermisch getrennten Elektronik verbunden. Ein erster Test konnte durchgeführt werden. Das Resultat deutet auf ein Funktionieren des Prinzips hin.