Diffusionswellenleiter in Dünnglas für die Photonik

Im Rahmen dieser Bachelorarbeit wurde für die Firma vario-optics AG die Herstellung von Lichtwellenleitern in Dünnglas mittels eine Ionendiffusion als Alternative zu Polymerwellenleitern, hinsichtlich ihrer Machbarkeit und Wirtschaftlichkeit beurteilt. Diese Wellenleiter sollen sich speziell für die Integration in elektrische Leiterplatten eignen. Mit Hilfe eines Laser Direct Imaging (LDI) Systems für die Lithographie, konnte eine Diffusionsmaskierungsschicht auf einem Glassubstrat mit einer Maskenöffnung zwischen 5.5μm und 6μm realisiert werden, die es erlaubet mittels Ionendiffusionsprozess bei einem externen Zulieferer Singlemodewellenleiter herzustellen. Beim entwickelten Prozess besteht noch Verbesserungspotential, da noch kleinere Öffnungen zu besser definierten Wellenleitern führen und diese besser im Glas vergraben werden können. Weiters hat sich bei der Charakterisierung gezeigt, dass die Glaswellenleiter im Gegensatz zu den Polymerwellenleitern der Firma vario-optics deutlich verlustarmer sind (2.5 mal), andererseits aber mehr Prozessschritte benötigen, was die Herstellung verteuert. Die Technologie der Diffusionswellenleiter ist für die Firma vario-optics dennoch gut umsetzbar.