Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating
Studiengang
MSE Technik und IT
Art der Arbeit
Masterarbeit
Verfasser/in
Marco Giordano
Referent/in
Prof. Dr. Martin Gutsche
Experte
Prof. Dr. Daniel Lundin
/ Linköping University, Linköping, Schweden
Partner
Evatec AG, Trübbach,
SG
Jahr
2024