RF E-Feld Sensor
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Hintergrund Bei der Produktion von Dünnschichtsolarzellen wird in Plasmareaktoren eine mehrlagige aktive Beschichtung aufgebaut. Damit die Solarzellen hohe…
Hintergrund Bei der Produktion von Dünnschichtsolarzellen wird in Plasmareaktoren eine mehrlagige aktive Beschichtung aufgebaut. Damit die Solarzellen hohe Wirkungsgrade erreichen, müssen die abgeschiedenen Schichten homogen sein. Dies fordert eine hohe Homogenität des elektrischen Feldes im Reaktor, der bei 40 MHz arbeitet. Die Wellenlänge ist bereits im Bereich der Reaktordimension, was die…