Multi Wellenlängen Interferometrie
Projekte
Machbarkeitsstudie: “Multi Wellenlängen Interferometrie für schnelle Topografiemessungen“ In der industriellen Produktion werden schnelle und hochgenaue…
Machbarkeitsstudie: “Multi Wellenlängen Interferometrie für schnelle Topografiemessungen“ In der industriellen Produktion werden schnelle und hochgenaue 3D-Messtechniken benötigt. Die Interfero-metrie liefert die gewünschte Genauigkeit und Geschwindigkeit, aber der Eindeutigkeitsbereich ist auf die halbe Wellenlänge beschränkt. Mit der Mehrwellenlängen-Interferometrie kann die Absolutposition in ei-nem…