Kapazitiver Kammaktor

Der kapazitive Kammaktor ist eines der universellsten Aktorelemente der Mikrotechnik.

Prinzip

Der Kammaktor  besteht aus zwei Elektroden, wobei eine Elektrode über Federn beweglich aufgehängt ist. Beide Elektroden haben in diesem Beispiel jeweils 600 Finger und sind in Form eines Kammes angeordnet. Die Kämme der Elektroden greifen ineinander. Beim Anlegen einer Spannung zwischen den Elektroden wird die bewegliche Elektrode aufgrund der Coulombkraft angezogen und ausgelenkt.

Kennwerte

• Anzahl Finger pro Elektrode: ca. 600
• Breite des Fingers: 16 µm
• Länge des Fingers: 300 µm
• Höhe der Finger: 300 µm
• Kraft bei 50 V: 1 mN
• Auslenkung bei 50 V: 30 µm