Am Campus Buchs sind drei Kantischülerinnen den Fertigungsprozessen für den Aufbau von Mikrochips auf den Grund gegangen. Im Rahmen des Mentoring-Programms «Swiss TecLadies» waren sie im Reinraum und haben unter Anleitung von Experten, einer jungen Physiklaborantin und einem Lernenden die Oberfläche eines Siliziumwafers strukturiert. Ein Wafer ist eine dünne Scheibe aus Halbleitermaterial, die als Basis für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen und Mikrochips dient.
Im Reinraum forscht und entwickelt die OST an der Miniaturisierung, die Regler, Sensoren und Schaltkreise immer kleiner, effizienter und leistungsstärker macht. So klein, dass selbst Staubpartikel die Funktionsweise dieser Mikrostrukturen beeinträchtigen können. Die Räume, in denen solche Teile hergestellt und verarbeitet werden, sind deshalb besonders sauber; die Luft wird gefiltert, die Temperatur, Feuchtigkeit und der Luftdruck streng kontrolliert. Der erste Schritt in die Welt der Mikrotechnik führte die Schülerinnen in den Umkleidebereich, in dem synthetische Einteiler, Masken, Hauben und Brillen verteilt werden. Erst mit dieser Schutzkleidung konnten sie in den Reinraum, um an der Arbeit an ihrer flachen Siliziumscheibe, die in wenigen Stunden zu einem persönlich beschrifteten Wafer wurde, zu starten.
Vielfalt der Technik aufzeigen
Den Workshop an der OST hat Kerstin Kern, Projektleitern und Fachverantwortliche Werkstoffprüfung am IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik, organisiert. Sie ist zum dritten Mal Mentorin bei den Swiss TecLadies und begleitet eine Mentee in die Welt der Technik. «Das Ziel ist es, junge Frauen für technische Berufe zu begeistern und ihnen die Vielfalt der Technik aufzuzeigen», sagt Kern. Viel zu häufig hätten Mädchen auch heute noch ein sehr einseitiges Bild von Technik im Kopf. «Meiner Erfahrung nach können Berührungsängste bei Workshops wie im Reinraum am besten abgebaut werden. Zudem ist für die Schülerinnen der persönliche Kontakt zu Forscherinnen inspirierend. Als Mentorinnen betreuen wir die jungen Frauen 1:1 und sind für sieben Monate ihre direkte Ansprechperson», sagt Kern. Wie das Mentoring konkret aussieht, hängt von den Interessen der Mentees ab.
Hauchdünne Schichten strukturieren
Kerstin Kern hat die Mädchen in den Reinraum begleitet.Gemeinsam mit Marco Cucinelli, dem Leiter des Reinraums, und Urs Lippuner, Berufsbildner an der OST, hat die Gruppe die verschiedenen Prozessschritte, die für die Strukturierung der Wafer-Oberfläche nötig sind, durchlaufen. Es wurden dünnste Schichten mit Dimensionen im Nanometerbereich aufgetragen. An den richtigen Stellen wurden diese durch Fotolithographie und Ätzprozesse strukturiert. Die jungen Frauen haben den Aufdampf- und Sputterprozess kennengelernt, der die hauchdünne Aluminiumschicht auf die Siliziumscheibe aufträgt, haben ihre Wafer belichtet, in Säuren gebadet, gereinigt und mehrmals getrocknet.
Einen Nachmittag lang haben sie erlebt, wie Ingenieurinnen und Ingenieure an der OST kleinste Teile für die Industrie herstellen und konnten selbst an den Hightech-Geräten arbeiten.