Prof. Dr. Martin Gutsche

IMP Institut für Mikrotechnik und PhotonikProfessor für Mikrotechnik, Leiter Kompetenzbereich Prozesstechnologie

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AuthorTitleYearType
Marco Giordano Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating 2024Masterarbeit
Raphael Mayenknecht,
Michiel Sameli
Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern 2023Bachelorarbeit
Michael Zürcher Entwicklung eines Hochtemperatur-Durchflussmessers für Temperiergeräte 2017Bachelorarbeit
Fabian Büchel Automatic Optical Inspection (AOI) für einen Gas- bzw. Flow-Sensor 2016Bachelorarbeit
Demian Henzen Diffusionswellenleiter in Dünnglas für die Photonik 2016Bachelorarbeit
Andreas Halter,
Florian Neff
Resonanter Dichtesensor aus Silizium 2016Bachelorarbeit
Kay Ackermann Magnetgreifer 2015Bachelorarbeit
Admir Asanoski Maskenloses Belichtungsverfahren für die Fotolithographie 2015Bachelorarbeit
Melanie Spirig,
Stefan Elsner
Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen 2015Bachelorarbeit